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Descripción
Piezas principales de VTM: módulo de transferencia de vacío de obleas (autoinvestigación de Hong Hu)
Introducción al módulo de transferencia de vacío de Honghu
Eje R (radial):
Rango de medición: 1010 mm
Repetibilidad: ±0,05 mm
Eje T (rotación):
Rango: Rotación infinita
Precisión de posicionamiento repetido: ±0.003°
Eje Z (vertical): 50 mm, 100 mm, 150 mm
Precisión de posicionamiento repetido: ±0,05 mm
Tasa de fuga: 1*10-9>5*10-7 vaccum
Particle Perfermence: ISO Level 1
Power Supply: 85 to 265VAC/50HZ, 2.65A/230VAC
Communication: Ethernet Teach Method: Teach Pendant and Robot Studio Software
Operating temperature: 10ºC-40ºC
Storage temperature: -25ºC to 50ºC
Humidity: 50% to 80% (non-condensing)>
- Transferencia de obleas de robot de vacío
Capacidad de producción:
100
Plazo de entrega:
En 90 Dias
Incoterms:
CFR - Cost and Freight
CIF - Cost, Insurance and Freight
Descripción de empaque:
No informado
Más sobre
Honghu (Suzhou) Semiconductor Technology Co.，Ltd
200-500
Empleados
10M - 50M
Volumen de ventas (USD)
20%
% de ventas de exportación
Año
Año de fundación
Tipo de negocio
- Fabricante
Palabras clave
- EFEM
- Clasificador
- SMIF
- VTM
- Robot de obleas
- Implantación de iones y grafito de alta pureza Ver Mais
Contacto y ubicación
-
EVEN ********
-
+86 1********
-
Suzhou / 江苏省 | China
EVEN ********
+86 1********
Suzhou / 江苏省 | China
